凈化車間裝修重點是讓我們看一下溫濕度的作用。從生產(chǎn)工藝的角度分析，每個生產(chǎn)線 應(yīng)有不同的控制參數(shù)要求；從衛(wèi)生學角度分析，濕度高容易使細菌特別是霉 菌滋生繁殖，溫濕度越低越能抑制細菌的繁殖，雖然濕度低易起塵，使細菌擴 散。但綜合分析，濕度偏低些還是有利的。在各生產(chǎn)潔凈區(qū)溫濕度控制中，不 必強求統(tǒng)一的參數(shù)標準，而應(yīng)根據(jù)不同產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求進行確定，既有 利于空調(diào)系統(tǒng)調(diào)節(jié)操作，又有利于生產(chǎn)控制。

凈化車間裝修在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學科。凈化工程公司所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55％時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50％時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30％時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45％。

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